探針冷熱臺中真空壓力控制系統(tǒng)由進氣電動針閥?高真空計?低真空計?排氣電動針閥?高真空壓力控制器?低真空壓力控制器和真空泵組成?

該系統(tǒng)通過兩個高低真空壓力控制回路對全量程真空壓力進行精密控制?分別采用上游和下游控制模式。在全量程真空壓力的具體控制過程中?需要分別采用上游和下游控制模式?具體如下：

- 對于絕對壓力0.1Torr~10Torr的高真空壓力范圍的控制?首先要設(shè)置排氣電控針閥的開度為某一固定值?通過運行高真空度控制回路自動調(diào)節(jié)進氣針閥開度來達到真空壓力設(shè)定值?

- 對于絕對壓力10Torr~1000Torr的低真空壓力范圍的控制?首先要設(shè)置進氣針閥的開度為某一固定值?通過運行低真空度控制回路自動調(diào)節(jié)排氣針閥開度來達到真空壓力設(shè)定值?

- 全量程范圍內(nèi)的真空壓力變化可按照設(shè)定曲線進行程序控制?控制采用真空壓力控制器自帶的計算機軟件進行操作?同時顯示和存儲過程參數(shù)和隨時間變化曲線?

探針冷熱臺內(nèi)的真空壓力控制精度主要由真空計?電控針閥和真空壓力控制器的精度決定。除了使用精度為±0.25%的薄膜電容真空計之外?還采用了NCNV系列電控針閥具有全量程±0.1%的重復精度?以及VPC2021系列真空壓力控制器具有24位AD?16位DA和0.01%最小輸出百分比?

通過如此精度的配置?全量程的真空壓力控制可以達到很高的精度?考核試驗證明可以輕松達到±1%的控制精度?采用分段PID參數(shù)?控制精度可以達到±0.5%?

對于探針冷熱臺內(nèi)的氣氛控制?采用了多個氣體質(zhì)量流量控制器來對進氣進行精密的流量調(diào)節(jié)?以精確控制各種氣體的濃度或所占比例。通過精密測量后的多種工作氣體在混氣罐內(nèi)進行混合?然后再進入探針冷熱臺?由此可以準確控制各種氣體比值?

在氣氛控制過程中需要注意以下兩點：

(1)對于某一種單獨的工作氣體需要配備相應(yīng)氣體的氣體質(zhì)量流量控制器；

(2)混氣罐壓力要進行恒定控制或在混氣罐出口處增加一個減壓閥以保持混氣罐出口壓力穩(wěn)定?