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一、實(shí)驗(yàn)室概況：

　　本實(shí)驗(yàn)室旨在薄膜材料領(lǐng)域，建設(shè)國(guó)內(nèi)首家功能薄膜材料物理性能檢測(cè)技術(shù)研究基地，助推功能薄膜材料的研究與發(fā)展，為湖北省乃至整個(gè)國(guó)家的產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)提供保障平臺(tái)，尤其是工業(yè)時(shí)代向信息時(shí)代的轉(zhuǎn)型升級(jí)。

　　湖北省工程實(shí)驗(yàn)室主要包括以下幾個(gè)實(shí)驗(yàn)室：

　　1、薄膜材料熱分析實(shí)驗(yàn)室

　　2、薄膜材料樣品制備與加工實(shí)驗(yàn)室

　　3、薄膜材料電磁分析實(shí)驗(yàn)室

　　4、薄膜材料力學(xué)分析實(shí)驗(yàn)室

　　5、薄膜材料光學(xué)分析實(shí)驗(yàn)室

二、實(shí)驗(yàn)室情況簡(jiǎn)介

　　（1）薄膜材料熱分析實(shí)驗(yàn)室

　　材料熱物性是對(duì)特定熱過程進(jìn)行基礎(chǔ)研究、分析計(jì)算和工程設(shè)計(jì)的關(guān)鍵參數(shù)，是材料最基本的性能之一，在科學(xué)研究、工程設(shè)計(jì)、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域應(yīng)用十分廣泛，也是各行業(yè)節(jié)能技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)。

　　薄膜材料熱物性分析測(cè)試實(shí)驗(yàn)室是對(duì)薄膜材料熱物性的重要特征參量，如：熱導(dǎo)系數(shù)、熱擴(kuò)散率、比熱容、熱膨脹系數(shù)、發(fā)射率、熱流密度等進(jìn)行測(cè)量。評(píng)價(jià)薄膜材料的相變特性，熱穩(wěn)定性，滿足納米科技、微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）、低維材料、納米生物醫(yī)藥等領(lǐng)域高新技術(shù)迅猛發(fā)展的需要。

　　（2）薄膜材料樣品制備與加工實(shí)驗(yàn)室

　　實(shí)驗(yàn)室為薄膜材料性能檢測(cè)提供制樣準(zhǔn)備，以滿足其他性能檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室儀器的檢測(cè)需要。實(shí)驗(yàn)室擁有薄膜制備儀器：磁控濺射鍍膜儀、離子束濺射鍍膜系統(tǒng)?？梢灾苽涓鞣N薄膜：陶瓷氧化物、氮化物膜、金屬多層膜，以及各種超晶格；同時(shí)，可合成納米管、納米粉末，以及量子點(diǎn)。精密切割機(jī)、研磨拋光機(jī)、光刻機(jī)對(duì)塊體和薄膜樣品表面進(jìn)行微加工處理，滿足不同的測(cè)樣要求。

　　（3）薄膜材料電磁性能測(cè)試實(shí)驗(yàn)室

　　薄膜材料電學(xué)、磁學(xué)性能測(cè)試實(shí)驗(yàn)室主要是為了滿足薄膜材料磁學(xué)性能、電學(xué)性能及微觀測(cè)試。測(cè)量參數(shù)有：電阻率、載流子濃度、遷移率、磁矩、電滯回線等。實(shí)驗(yàn)室主要配備：薄膜變溫電阻測(cè)試儀、霍爾效應(yīng)測(cè)試儀、鐵電分析儀、綜合物性測(cè)量系統(tǒng)、磁學(xué)測(cè)試系統(tǒng)等。

　　（4）薄膜材料力學(xué)性能測(cè)試實(shí)驗(yàn)室

　　薄膜材料被廣泛應(yīng)用于微機(jī)械系統(tǒng)的設(shè)計(jì)中。微機(jī)械系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和選材受到加工工藝的限制，大量采用薄膜材料。薄膜材料的力學(xué)特性，如彈性模量、殘余應(yīng)力、泊松比、斷裂強(qiáng)度、疲勞強(qiáng)度等，是決定MEMS 元件性能的重要參數(shù)，是微機(jī)械設(shè)計(jì)中不可缺少的數(shù)據(jù)。薄膜材料與塊狀材料的力學(xué)特性與性能可能不同，這是由于存在較強(qiáng)的尺寸效應(yīng)，薄膜材料的力學(xué)特性與成膜裝置、成膜條件及熱處理等條件有密切關(guān)系，而且微構(gòu)件的力學(xué)特性還難以用常規(guī)的方法測(cè)試，存在著很多困難。

　　薄膜材料力學(xué)性能測(cè)試實(shí)驗(yàn)室主要關(guān)注薄膜材料的硬度、彈性模量、應(yīng)力、熱應(yīng)力、表面粗糙度、臺(tái)階高度、吸附力等參數(shù)。實(shí)驗(yàn)室擁有的儀器有：X射線殘余應(yīng)力分析儀、薄膜熱應(yīng)力測(cè)試系統(tǒng)、探針式輪廓儀、納米劃痕測(cè)試儀、納米壓痕測(cè)試儀、固體表面ZETA電位分析儀等。

　　（5）薄膜材料光學(xué)性能測(cè)試實(shí)驗(yàn)室

　　光學(xué)薄膜是綜合性非常強(qiáng)的工程技術(shù)科學(xué)的產(chǎn)物。如今，可以毫不夸張地說，人們的生活離不開光學(xué)薄膜的應(yīng)用，無論是在高新技術(shù)領(lǐng)域中的精密儀器、顯示器、薄膜太陽能電池的研發(fā)還是日常生活當(dāng)中使用的視聽設(shè)備、數(shù)碼產(chǎn)品、眼鏡等，光學(xué)薄膜材料都得到廣泛的應(yīng)用。因此，材料的光學(xué)特性和光學(xué)常數(shù)的測(cè)定在制備高性能光學(xué)薄膜器件中具有十分重要的地位。