探針臺的應(yīng)用場景
電性能測試:提供材料/器件的IV/CV特性、霍爾效應(yīng)等電學(xué)性能測試;
光學(xué)測試:LD/LED/PD的光強/波長測試,測量光電材料的光電轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性;
失效分析:射頻特性等電子器件失效分析,以幫助定位故障點,進(jìn)行深入分析;
內(nèi)部線路測試:芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試,能夠精確地將微小連接點的信號引出,便于進(jìn)一步的測試和分析;
可靠性分析:對材料進(jìn)行可靠性驗證,確保其在各種條件下的穩(wěn)定性和耐久性;
微納尺度操控:在納米尺度上進(jìn)行納米材料的電導(dǎo)率、電阻、電容等電學(xué)性質(zhì)的局部測量;
顯微鏡觀察:結(jié)合SEM(掃描電子顯微鏡)或TEM(透射電子顯微鏡),探針臺可以提供從宏觀到納米尺度的多尺度材料表征;
自動化測試:自動化的晶圓處理系統(tǒng)集成,包括晶圓傳輸、定位和識別系統(tǒng), 以提高測試效率和減少人為錯誤;
特殊環(huán)境測試:探針臺可以在不同的溫度、壓力 或特殊氣體環(huán)境中測試芯片;