探針臺工作原理：通過其精細(xì)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對樣品的準(zhǔn)確測量和分析。

1.定位：通過樣品臺精確定位待測物（晶圓、芯片等）；

2.視覺輔助：利用光學(xué)元件放大觀察，確保探針精確對準(zhǔn)測量點(diǎn)；

3.固定待測物：使用卡盤固定晶圓或芯片，可能采用夾具或真空吸附；

4.探針控制：通過電磁或壓電裝置精確控制，探針在樣品表面的移動(dòng)和定位；

5.信號采集：內(nèi)置傳感器實(shí)時(shí)記錄探針與樣品相互作用產(chǎn)生的信號；

6.數(shù)據(jù)處理：對采集的信號進(jìn)行處理，分析得到樣品的形貌和性能信息；

7.自動(dòng)化測試：手動(dòng)、半自動(dòng)或全自動(dòng)探針臺系統(tǒng)完成測試流程。