探針臺的工作原理是通過其精細(xì)的結(jié)構(gòu)設(shè)計和控制系統(tǒng)?實現(xiàn)對樣品的準(zhǔn)確測量和分析?

1?定位￤通過樣品臺精確定位待測 物（晶圓?芯片等）?

2?視覺輔助￤利用光學(xué)元件放大觀察， 確保探針精確對準(zhǔn)測量點?

3?固定待測物￤使用卡盤固定晶圓或芯片， 可能采用夾具或真空吸附?

4?探針控制￤通過電磁或壓電裝置精確控制 探針在樣品表面的移動和定位?

5?信號采集￤內(nèi)置傳感器實時記錄探針與 樣品相互作用產(chǎn)生的信號?

6?數(shù)據(jù)處理￤對采集的信號進(jìn)行處理，分析 得到樣品的形貌和性能信息?

7?自動化測試￤手動?半自動或全自動探 針臺系統(tǒng)完成測試流程?