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顯微鏡探針冷熱臺(tái)在材料結(jié)構(gòu)?組織以及工藝過程等的微觀測(cè)量和研究中，對(duì)真空?壓力?氣氛和濕度的調(diào)節(jié)及控制能力有要求?

針對(duì)顯微鏡探針冷熱臺(tái)的真空壓力和氣氛的精密控制，需要達(dá)到的技術(shù)指標(biāo)如下￤

（1）真空壓力￤絕對(duì)壓力范圍0.1Torr~1000Torr，控制精度為讀數(shù)的±1%?

（2）氣氛￤單一氣體或多種氣體混合，氣體濃度控制精度優(yōu)于±1%?

顯微鏡探針冷熱臺(tái)采用以下兩種獨(dú)立的技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)真空壓力和氣氛的精確控制￤

（1）真空壓力控制￤采用動(dòng)態(tài)平衡法技術(shù)，通過控制進(jìn)入和排出測(cè)試腔體的氣體流量，使進(jìn)氣和排氣流量達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡從而實(shí)現(xiàn)寬域范圍內(nèi)任意設(shè)定真空壓力的準(zhǔn)確恒定控制?

（2）氣氛控制￤采用氣體質(zhì)量流量控制技術(shù)，分別控制多種工作氣體的流量，由此來實(shí)現(xiàn)環(huán)境氣體中的混合比?

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顯微鏡探針冷熱臺(tái)對(duì)真空?壓力?氣氛和濕度的調(diào)節(jié)

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