按材質(zhì)分類:
?無機薄膜材料?:包括金屬薄膜(如鋁、銅、鈦等)、氧化物薄膜(如氧化鋅、氧化鋁等)、碳化物薄膜等。
?有機薄膜材料?:通常由高分子材料制成,如聚氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯等?。
按功能分類:
1. ?電學(xué)薄膜?:包括半導(dǎo)體器件與集成電路中使用的導(dǎo)電材料與介質(zhì)薄膜材料,以及超導(dǎo)薄膜等。它們在電子、電氣領(lǐng)域有重要應(yīng)用,如導(dǎo)電層、絕緣層、超導(dǎo)材料等?。
2. ?光學(xué)薄膜?:這類薄膜具有反射、干涉、偏振等光學(xué)性能,主要應(yīng)用于光學(xué)元件、顯示器件、太陽能等領(lǐng)域。
3. ?力學(xué)性能薄膜?:具有高硬度、高彈性模量、高強度等力學(xué)性能的薄膜,主要應(yīng)用于機械、電子、航空航天等領(lǐng)域。
4. ?磁學(xué)性能薄膜?:具有磁導(dǎo)率、磁化強度、磁損耗等磁學(xué)性能的薄膜,主要應(yīng)用于磁記錄、磁存儲、傳感器等領(lǐng)域。
5. ?熱學(xué)性能薄膜?:具有熱導(dǎo)率、熱膨脹系數(shù)、熱穩(wěn)定性等熱學(xué)性能的薄膜,主要應(yīng)用于散熱、隔熱、保溫等領(lǐng)域。
6. 聲學(xué)性能薄膜:通過合理設(shè)計和優(yōu)化材料結(jié)構(gòu),薄膜型聲學(xué)超材料可以實現(xiàn)對特定頻率范圍內(nèi)聲波的反射和吸收,從而達到隔聲的效果?。
7. ?化學(xué)性能薄膜?:具有耐腐蝕、抗氧化、防水等化學(xué)性能的薄膜,主要應(yīng)用于化工、制藥、食品等領(lǐng)域。
8. ?生物醫(yī)學(xué)性能薄膜?:具有生物相容性、生物活性、藥物控釋等生物醫(yī)學(xué)性能的薄膜,這類薄膜在醫(yī)療領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。