真空探針臺(tái)設(shè)備組成￤
探針臺(tái)￤設(shè)備主體；
控制器￤PID溫度控制器；
真空維持系統(tǒng)￤真空泵；
液氮罐￤降溫系統(tǒng)；
電腦主機(jī)￤測(cè)試監(jiān)控；
探針臺(tái)組成
探針臺(tái) ? 百科
探針臺(tái)為小尺寸樣品測(cè)量電特性?PID自整定連續(xù)多點(diǎn)控溫?提供高精度可控的測(cè)量環(huán)境?幫助精準(zhǔn)測(cè)量和分析判斷晶圓器件的性能?
探針臺(tái)設(shè)備通過定制樣品臺(tái)和測(cè)量方式?可以實(shí)現(xiàn)￤
基礎(chǔ)測(cè)試；
保護(hù)氣氛電路測(cè)試；
高低溫真空探針臺(tái)；
超高頻探針臺(tái)；
光電流分析；
FA失效分析等測(cè)量和分析平臺(tái)?