探針臺(tái)設(shè)備使用方法￤

以手動(dòng)探針臺(tái)為例?探針臺(tái)的使用方法如下￤

1、將樣品載入真空卡盤?打開(kāi)真空閥控制開(kāi)關(guān)?使樣品安全牢固地吸附在卡盤上；

2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)?在顯微鏡低倍物鏡的焦點(diǎn)下清楚地看到樣品；

3、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)?將樣品放置測(cè)試點(diǎn)移至顯微鏡下；

4.顯微鏡切換為高倍率物鏡?在高倍率下找到待測(cè)點(diǎn)?然后微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y?將圖像調(diào)整清晰?等待測(cè)點(diǎn)位于顯微鏡視場(chǎng)中心；

5.確認(rèn)測(cè)點(diǎn)位置后?調(diào)整探針座位置?安裝探針后?可以將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置?然后使用探針座X-Y-Z的三個(gè)微調(diào)旋鈕慢慢地將探針移動(dòng)到被測(cè)點(diǎn)。這時(shí)候要小心?慢慢移動(dòng)?防止芯片誤傷?當(dāng)探針針的尖端懸掛在被測(cè)點(diǎn)上方時(shí)?探針可以先用Y軸旋鈕稍微后退一點(diǎn)?然后用Z軸旋鈕下針?最后用X軸旋鈕左右滑動(dòng)?觀察是否有一點(diǎn)劃痕?證明是否接觸過(guò)；

6、確保針尖與被測(cè)點(diǎn)接觸良好后?可通過(guò)連接測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試?