真空探針臺(tái)設(shè)備參數(shù)￤

外形尺寸￤長(zhǎng)650mm*寬650mm*高1300mm；

溫度范圍￤-196~400℃（環(huán)境溫度）；

制冷加熱方式￤液氮制冷?電阻加熱；

樣品臺(tái)尺寸￤≤φ100mm；

有效高度￤40mm；

探針臺(tái)真空度￤機(jī)械泵≤10Pa?分子泵≤5.0 e-3Pa；

探針臺(tái)設(shè)備氣路￤1-2路；

溫度傳感器￤PT100；

控溫方式￤PID線型調(diào)節(jié)；

控溫精度￤±0.1℃；

最大升溫速率￤80℃/min（RT到100℃）；

最大降溫速率￤50℃/min（RT到-100℃）；

XYZ軸行程￤50mm*50mm*10mm；

探針結(jié)構(gòu)￤外置探針臂?真空波紋管結(jié)構(gòu)；

移動(dòng)精度￤0.01mm；

線纜￤同軸線/射頻線；

探針類型￤鎢探針（類型可選）；

接頭類型￤BNC/鱷魚夾/接線端子?