真空探針臺設(shè)備組成￤

探針臺￤設(shè)備主體；

控制器￤PID溫度控制器；

真空維持系統(tǒng)￤真空泵；

液氮罐￤降溫系統(tǒng)；

電腦主機(jī)￤測試監(jiān)控；

探針臺設(shè)備原理￤

是由液氮和加熱棒共同作用實(shí)現(xiàn)樣品臺溫度在-196--400℃范圍內(nèi)連續(xù)變化的裝置;

并搭載可調(diào)節(jié)的探針?能夠在良好的溫度梯度和穩(wěn)定性的溫度場下?連接樣品和客戶檢測設(shè)備;

可實(shí)現(xiàn)在低溫下或變溫下電學(xué)?熱學(xué)?光學(xué)等性能測試?

真空探針臺設(shè)備參數(shù)￤

外形尺寸￤長650mm*寬650mm*高1300mm；

溫度范圍￤-196~400℃（環(huán)境溫度）；

制冷加熱方式￤液氮制冷?電阻加熱；

樣品臺尺寸￤≤φ100mm；

有效高度￤40mm；

探針臺真空度￤機(jī)械泵≤10Pa?分子泵≤5.0 e-3Pa；

探針臺設(shè)備氣路￤1-2路；

溫度傳感器￤PT100；

控溫方式￤PID線型調(diào)節(jié)；

控溫精度￤±0.1℃；

最大升溫速率￤80℃/min（RT到100℃）；

最大降溫速率￤50℃/min（RT到-100℃）；

XYZ軸行程￤50mm*50mm*10mm；

探針結(jié)構(gòu)￤外置探針臂?真空波紋管結(jié)構(gòu)；

移動精度￤0.01mm；

線纜￤同軸線/射頻線；

探針類型￤鎢探針（類型可選）；

接頭類型￤BNC/鱷魚夾/接線端子?

探針臺設(shè)備用途￤

探針臺設(shè)備主要為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺?探針平臺可以吸附多種規(guī)格的芯片?并提供多種可調(diào)測試針和探針座?集成電路的電壓?電流?電阻和電容電壓特性曲線可以通過測量儀器完成?適用于芯片的科研分析?抽查和測試?

探針臺主要用于測試半導(dǎo)體行業(yè)?光電行業(yè)?集成電路和封裝?廣泛應(yīng)用于R&D復(fù)雜高速器件的精密電氣測量?旨在保證質(zhì)量和可靠性?降低R&D時間和器件制造工藝的成本?

探針臺在操作上有￤手動?半自動?全自動?從功能上來說，探針臺涵蓋:溫控探針臺?真空探針臺(超低溫探針臺)?RF探針臺?LCD平板探針臺?霍爾效應(yīng)探針臺?表面電阻探針臺?

探針臺設(shè)備使用方法￤

以手動探針臺為例?探針臺的使用方法如下￤

1、將樣品載入真空卡盤?打開真空閥控制開關(guān)?使樣品安全牢固地吸附在卡盤上；

2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺?在顯微鏡低倍物鏡的焦點(diǎn)下清楚地看到樣品；

3、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺?將樣品放置測試點(diǎn)移至顯微鏡下；

4.顯微鏡切換為高倍率物鏡?在高倍率下找到待測點(diǎn)?然后微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y?將圖像調(diào)整清晰?等待測點(diǎn)位于顯微鏡視場中心；

5.確認(rèn)測點(diǎn)位置后?調(diào)整探針座位置?安裝探針后?可以將探針移到接近待測點(diǎn)的位置?然后使用探針座X-Y-Z的三個微調(diào)旋鈕慢慢地將探針移動到被測點(diǎn)。這時候要小心?慢慢移動?防止芯片誤傷?當(dāng)探針針的尖端懸掛在被測點(diǎn)上方時?探針可以先用Y軸旋鈕稍微后退一點(diǎn)?然后用Z軸旋鈕下針?最后用X軸旋鈕左右滑動?觀察是否有一點(diǎn)劃痕?證明是否接觸過；

6、確保針尖與被測點(diǎn)接觸良好后?可通過連接測試設(shè)備開始測試?

探針臺特點(diǎn)￤

1?U型平臺?最多可以放置8個針座；

2?真空吸附?配置3個真空開關(guān)?可根據(jù)樣品尺寸選擇開關(guān)單獨(dú)控制樣品臺可 360°旋轉(zhuǎn)?粗調(diào)快速旋轉(zhuǎn)帶鎖死?微調(diào)0.1°;探針座帶快速傾仰調(diào)節(jié)支架；

3?按需升級?適配場景豐富;體積小巧?操作方便?性價比高；

4?適用于六寸及以下圓片?碎片等；

5?廣泛應(yīng)用在各研究所?高校?實(shí)驗(yàn)室等；